SH-CVD-PK-TG300 시리즈는 고온 CVD(화학기상증착) 공정을 위한 일체형 패키지 장비로,

퍼니스(Furnace), 칠러(Chiller), 진공펌프(Vacuum Pump), 오일미스트트랩(Oil Mist Trap),

이동식 테이블(Table)을 포함한 통합형 세트입니다. 고온에서 정밀한 온도 제어와 안정적인 진공 환경을 제공하며,

반도체, 신소재, 연구개발 및 실험실 공정에서 효율적인 증착과 열처리를 가능하게 합니다.