비스무트페라이트 필름

BiFeO3 Film (400nm) on (Pt/Ti/SiO2/Si), 10x10x0.5mm

iFeO3는 특수 스핀 코팅을 통해 (Pt/Ti/SiO2/Si) 기판에서 성장한 우수한 강유전체 필름입니다.

필름 사양:

• 화학조성 : BiFeO3
• 막두께 : ~ 400nm
• 결정체: 다결정
• 성장방법 : 스핀코팅 + 어닐링
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기판 사양:

• 도전형: Si(B-doped) 기판상의 SiO2+Ti+Pt 박막, 10x10x0.5mm,1sp(SiO2=500nm,Pt=200nm,Ti=50nm)
• 비저항: < 0.005 ohm.cm 
• Size: 10x10 x 0.5 mm
• 폴리쉬: 한쪽 면이 연마됨
• 표면거칠기 : < 5A

필름 속성