Undoped AlN Template on 2in Silicon
( Si <111> , N type ) 2in x 200 nm

실리콘의 AlN Template는 PVDNC 방법으로 만들어집니다. 
실리콘의 AlN 템플릿은 AlN 단결정 기판을 대체하는 비용 효율적인 방법입니다.

 

사양

• 유용면적 : 90%
• 공칭 AlN 두께: 200nm ± 5%, 한쪽 면 코팅, 도핑되지 않은 AlN 필름
• 전면: 애즈-그랜트
• 후면: 받은 실리콘
• AlN 방향: C-평면(00.1)
• 매크로 결함 밀도: <5/cm^2
• 웨이퍼 베이스: 실리콘[111] N타입, 2"다이아 x 0.5mm, 저항도: < 5옴-cm, 한쪽 면 연마