모델명 : SH-CVD-30TG150

1200℃ 튜브 퍼니스(SH-FU-30TG150)에 가스 유량 제어 구성을 결합한 가스 플로우 패키지입니다.

스테인리스 배관과 석영 튜브를 포함하여 가스 분위기 실험에 바로 적용할 수 있습니다.

가스 플로우미터 기본 구성으로 안정적인 가스 공급이 가능하며, CVD 및 열처리 공정에 적합합니다.

과온 보호, 전원 복귀 자동 리셋 등 안전 기능이 내장되어 장시간 실험에도 안정적으로 운용됩니다.

옵션으로 MFC, BPR 및 가스 연결 서비스를 추가할 수 있습니다.